第(2/3)页 “你们的光源,你们的镜片镀膜,都必须围绕这个波长来设计!否则,一切都是白搭!” 三个人,代表了三个领域的最顶尖的智慧,也代表了三种完全不同的技术路线。 他们谁也说服不了谁,每个人都坚信自己的领域才是核心。 会议室里吵得不可开交,小周和几个项目组的年轻成员在旁边听得心惊胆战。 他们觉得这个项目还没开始,就要因为内讧而解散了。 吴厂长急得直搓手,他想去劝,又插不上话,那些专业术语他一个也听不懂。 就在这剑拔弩张的时刻,一直静静听着的曲令颐站了起来。 她走到巨大的黑板前,拿起粉笔。 “方老,您的光学设计,是灵魂。” 她在黑板上画了一个复杂的透镜组。 “陆工,您的磁流体复合轴承,是骨骼。” 她在透镜组下面,画了一个稳定而坚固的平台。 “陈默,你的光刻胶,是血肉。” 她在平台上方,画了一片薄薄的涂层。 “灵魂、骨骼、血肉,缺一不可。你们争论的不是谁对谁错,而是如何让三者完美地融为一体。” 她的粉笔在黑板上飞舞,将三个人的设计图用一种所有人都没想过的方式,重新组合了起来。 “方老,陆工的磁场问题,我们可以通过设计一个μ金属屏蔽罩来解决。同时,您的物镜组最后一级,可以不采用胶合,而是采用空气隙设计,这样可以减少应力,并且方便我们加入偏振校正镜片。” “陆工,方老对光路的要求是刚性的。所以,您的磁悬浮平台可以不变,但承载硅片的晶圆台,我们必须增加一套基于压电陶瓷的微动位移系统,用它来主动补偿剩余的微震动。” “陈默,你的光刻胶波长要求,给了我们一个明确的目标。我们会以此为基准,去寻找最合适的高压汞灯光源,并请方老重新计算镀膜参数。” “一个系统,需要一个总设计师。” “我的工作,就是让你们每一个人的天才想法,都能在这个系统里,发挥出最大的价值。” 黑板上,一幅全新的,融合了三大怪才所有智慧,又超越了他们各自局限的“燎ro原”光刻机设计草图,赫然出现。 整个会议室,鸦雀无声。 第(2/3)页